ISLANDIA, New York, ngày 2 tháng 10 năm 2025 – Festo đã trình diễn quy trình làm việc kết nối cho sản xuất chất bán dẫn, tập trung vào việc xử lý và chế tạo wafer quan trọng. Triển lãm ứng dụng mới nhất của công ty nhấn mạnh cách các linh kiện tự động hóa tiên tiến của công ty nâng cao độ chính xác, hiệu quả và độ tin cậy trong chế tạo wafer.

Trung tâm: Xử lý và căn chỉnh wafer

Trọng tâm của màn trình diễn mới của Festo là một mô-đun hub trung tâm, khởi động hành trình wafer bán dẫn. Được trang bị hệ thống cổng trục đảo ngược, hub này cung cấp một giải pháp thay thế tiết kiệm chi phí cho robot SCARA truyền thống trong việc lấy và vận chuyển wafer. Cổng trục này lấy wafer từ các Pod hợp nhất mở phía trước (FOUP) - các container vận chuyển chuyên dụng - và di chuyển chúng nhanh chóng và chính xác, đảm bảo việc vận chuyển nhanh chóng và đáng tin cậy từ kho lưu trữ đến dây chuyền sản xuất.

Cổng trục này có một đầu đọc wafer độc đáo được tích hợp với bộ căn chỉnh wafer, một công cụ đột phá kết hợp khả năng kẹp wafer và căn chỉnh wafer dưới micron thành một thiết bị nhỏ gọn duy nhất. Điều này giúp giảm độ phức tạp của hệ thống đồng thời đảm bảo định vị chính xác trước khi wafer chuyển sang giai đoạn xử lý tiếp theo.

Xử lý và phủ hóa chất

Sau khi xử lý trung tâm, các tấm wafer có thể được định tuyến đến Mô-đun 1, nơi mô phỏng các quy trình hóa học ướt. Quy trình làm việc bắt đầu bằng việc thanh lọc FOUP, sử dụng Bộ điều khiển Lưu lượng Khối lượng (MFC) của Festo để duy trì môi trường không nhiễm bẩn trước khi tiếp xúc với wafer.

Các tấm wafer sau đó được nạp vào trạm phủ, tại đó giải pháp "hút ngược" của Festo - kết hợp với các trục tuyến tính điện - cho phép vòi phun di chuyển chính xác trên bề mặt wafer. Hệ thống này đảm bảo lắng đọng hóa học đồng đều, giảm thiểu lãng phí và nâng cao chất lượng sản phẩm.

Xử lý chân không và định vị vi mô

Ngoài ra, wafer có thể được chuyển sang Mô-đun 2, nơi trình diễn các quy trình chân không như khắc khô. Tại đây, công nghệ của Festo kiểm soát việc đóng mở nhẹ nhàng của van khe và van cổng, đảm bảo wafer đi vào buồng chân không một cách trơn tru.

Bên trong buồng, các chốt nâng khí nén cẩn thận định vị các tấm wafer lên mâm cặp. Buổi trình diễn cũng giới thiệu một hệ thống định vị vi mô bằng khí nén có khả năng đặt các vòng lấy nét với độ chính xác đến từng micron, thể hiện khả năng kiểm soát tinh vi cần thiết cho sản xuất chất bán dẫn tiên tiến.

Đổi mới kết nối cho sự xuất sắc của ngành bán dẫn

Bản trình diễn kết nối này nhấn mạnh cách các thành phần của Festo - từ giàn tiết kiệm chi phí đến bộ căn chỉnh tích hợp và hệ thống kiểm soát chất lỏng chính xác - hoạt động hài hòa để tăng năng suất, độ chính xác và độ tin cậy trong sản xuất chất bán dẫn hiện đại.

Festo đóng vai trò then chốt trong ngành công nghiệp bán dẫn, cung cấp các linh kiện và giải pháp quan trọng cho cả quy trình front-end và back-end. Các sản phẩm của Festo bao gồm:

• Xử lý wafer nhẹ nhàng, chính xác
• Hệ thống thanh lọc nitơ (N₂) hiệu suất cao
• Các thành phần tương thích với phòng sạch
• Số hóa, quy trình do AI thúc đẩy và bảo trì dự đoán
• Các chương trình đào tạo và phát triển lực lượng lao động hàng đầu trong ngành

Để biết thêm thông tin, hãy truy cập trang giải pháp bán dẫn của Festo trong menu thả xuống “Giải pháp” trên trang web hoặc liên hệ với đại diện bán hàng hoặc đối tác phân phối của Festo.